GDMS灵敏度非常高，采用液氮制冷的方式，把离子源维持在低温环境中，可以有效降低辉光放电室中的干扰分子，同时提高辉光放电的稳定性，降低热效应所造成的基体效应，GDMS拥有高真空度，可达1.0E-9mbar及以下，气体背景非常低，气体元素检出限可以达到10个 ppb级别。

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