关键功能材料

       微电子行业的发展离不开超纯的、几乎不存在缺陷的材料。电子、磁性和光子器件的发展依赖于功能材料的供应。这些材料包括Ⅲ-Ⅴ型半导体（以及由它们制成的量子点和量子阱材料）、薄膜铌酸锂、绝缘体上的碳化硅、金刚石和多铁性材料以及压电材料。
       然而大部分材料只能从国外获取，少部分材料可以在国内的大学实验室获取，但供量有限且质量稳定性不足。
       所以，应当加强国内生产系统，利用高灵敏度的一些检测手段，如辉光放电质谱GDMS，为材料供应商开发新材料工艺提供数据支撑，从而降低研究人员的采购成本。