GDMS检测高纯无机材料中的杂质是一种非常有效的方法，其灵敏度非常高，采用液氮制冷的方式，把离子源维持在低温环境中，可以有效降低辉光放电室中的干扰分子，同时提高辉光放电的稳定性，降低热效应所造成的基体效应，GDMS拥有高真空度，可达1.0E-9mbar及以下。其检出限可达到ppb级别，元素测试范围为Li-U。

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       金属氧化物主要有氧化钙、氧化钠、氧化镁、氧化钡、氧化铁、氧化铜、氧化铝、氧化锌、Mn2O7等等；因其内部结构的复杂性和化学反应的多样性，金属氧化物中存在着各种缺陷，如点缺陷、线缺陷、面缺陷和体缺陷等。这些缺陷对金属氧化物的物理性质、化学性质和电学性质等产生了重要影响，影响着材料的性能和应用。

       高纯高纯金属成分分析要求检测多至70中，少则十几种的金属元素检测。 在高纯金属中要控制的主要杂质包括: 碱金属、碱土金属、过渡族金属、放射性金属(U , Th)。例如对于高纯钴, 一般要求碱金属、碱土金属、过渡族金属杂质单元素含量小于1×10- 4% ,放射性杂质元素的单元素含量小于 1×10- 7 % , 间隙元素含量小于几十(10-4%)。

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